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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
18940.2 PFNM-NM
Projekttitel
Advanced deposition system for low damage thin films.
Projekttitel Englisch
Advanced deposition system for low damage thin films.

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Miguel A. Marioni
EMPA
Überlandstrasse 129
CH-8600 Dübendorf

Wirtschaftspartner

 Marco Padrun
Evatec AG
CHE-111.705.163
Hauptstrasse 1a
CH-9477 Trübbach
+41 81 403 80 00
marco.padrun@evatecnet.com