Advanced deposition system for low damage thin films.

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

18940.2 PFNM-NM

Projekttitel

Advanced deposition system for low damage thin films.

Projekttitel Englisch

Advanced deposition system for low damage thin films.

Projektstatus	Abgeschlossen

Startdatum	01.02.2017
Endedatum	01.08.2019

Gesamtkosten bewilligt	387'809.00 CHF
Bereich	22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie	Projekt
Forschungsart	Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation	Industrielle Produktivität und Technologie

Fachbereiche	100 % T155 Beschichtung und Oberflaechenbehandlung

Letzte Änderung Projekt