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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
19193.1 PFNM-NM
Titre du projet
Feasibility Study of COSAMI, a Compact EUV Source for Actinic Mask Inspection
Titre du projet anglais
Feasibility Study of COSAMI, a Compact EUV Source for Actinic Mask Inspection
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.07.2016
Date de fin 01.01.2017
 
Coûts totaux approuvés 150'000.00  CHF
Domaine 22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Production et technologie industrielles
 
Disciplines/domaines
100 % T171 Microélectronique
Dernière modification du projet
25.03.2021