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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
19193.1 PFNM-NM
Projekttitel
Feasibility study : Machbarkeitsstudie für eine kompakte EUV-Quelle für eine aktinische Maskeninspektionseinrichtung (COSAMI)
Projekttitel Englisch
Feasibility Study of COSAMI, a Compact EUV Source for Actinic Mask Inspection

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Terence Garvey
PSI
Paul Scherrer Institut
CH-5232 Villigen
+41 56 310 46 37
terence.garvey@psi.ch