ServicenavigationHauptnavigationTrailKarteikarten

Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
19193.1 PFNM-NM
Projekttitel
Feasibility study : Machbarkeitsstudie für eine kompakte EUV-Quelle für eine aktinische Maskeninspektionseinrichtung (COSAMI)
Projekttitel Englisch
Feasibility Study of COSAMI, a Compact EUV Source for Actinic Mask Inspection
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.07.2016
Endedatum 01.01.2017
 
Gesamtkosten bewilligt 150'000.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt
25.03.2021