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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
18616.1 PFNM-NM
Projekttitel
High Volume Process for AlScN Thin Film deposition
Projekttitel Englisch
High Volume Process for AlScN Thin Film deposition
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.04.2016
Endedatum 01.10.2017
 
Gesamtkosten bewilligt 287'337.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt