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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
18893.1 PFNM-NM
Projekttitel
Kompakte Magnetron-Sputteranlage und Prozess zur flexiblen und kostengünstigen Herstellung hochwertiger Laserspiegelschichten
Projekttitel Englisch
Kompakte Magnetron-Sputteranlage und Prozess zur flexiblen und kostengünstigen Herstellung hochwertiger Laserspiegelschichten
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.06.2016
Endedatum 01.12.2018
 
Gesamtkosten bewilligt 347'840.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt