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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
18188.1 PFNM-NM
Titre du projet
MURMELi: Multi-channel Ultra-Resolution Mask Exposure Lithography
Titre du projet anglais
MURMELi: Multi-channel Ultra-Resolution Mask Exposure Lithography
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.03.2016
Date de fin 01.03.2019
 
Coûts totaux approuvés 549'046.00  CHF
Domaine 22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Production et technologie industrielles
 
Disciplines/domaines
100 % T171 Microélectronique
Dernière modification du projet