EMPIR-14IND07: Metrology for manufacturing 3D stacked integrated circuits (3D Stack)

Unité de recherche

METAS

Numéro de projet

F-5217.30062

Titre du projet

EMPIR-14IND07: Metrology for manufacturing 3D stacked integrated circuits (3D Stack)

Titre du projet anglais

EMPIR-14IND07: Metrology for manufacturing 3D stacked integrated circuits (3D Stack)

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.06.2015
Date de fin	31.05.2018


Domaine	5217 Haute fréquence

Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % P180 Métrologie, instrumentation physique

Dernière modification du projet 04.03.2019