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Forschungsstelle
METAS
Projektnummer
F-5217.30062
Projekttitel
EMPIR-14IND07: Metrology for manufacturing 3D stacked integrated circuits (3D Stack)
Projekttitel Englisch
EMPIR-14IND07: Metrology for manufacturing 3D stacked integrated circuits (3D Stack)
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.06.2015
Endedatum 31.05.2018
 
Bereich 5217 Hochfrequenz
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % P180 Metrologie, physikalisches Instrumentarium
Letzte Änderung Projekt
04.03.2019