Multi-Tip NanoFrazor: Nanolithography goes from research to industry

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

17500.1 PFNM-NM

Titre du projet

Multi-Tip NanoFrazor: Nanolithography goes from research to industry MIP: SwissLitho AG

Titre du projet anglais

Multi-Tip NanoFrazor: Nanolithography goes from research to industry MIP: SwissLitho AG

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.02.2015
Date de fin	01.02.2017

Coûts totaux approuvés	484'828.00 CHF
Domaine	22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % T171 Microélectronique

Dernière modification du projet