3D Nano2Micro: enhancing the 3D fabrication range of the NanoFrazor

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

17503.1 PFNM-NM

Projekttitel

3D Nano2Micro: enhancing the 3D fabrication range of the NanoFrazor MIP: SwissLitho AG

Projekttitel Englisch

3D Nano2Micro: enhancing the 3D fabrication range of the NanoFrazor MIP: SwissLitho AG

Projektstatus	Abgeschlossen

Startdatum	01.03.2015
Endedatum	01.03.2017

Gesamtkosten bewilligt	204'470.00 CHF
Bereich	22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie	Projekt
Forschungsart	Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation	Industrielle Produktivität und Technologie

Fachbereiche	100 % T171 Mikroelektronik

Letzte Änderung Projekt