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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
17140.1 PFNM-NM
Titre du projet
A caesium deposition system for FIB-SIMS chemical imaging
Titre du projet anglais
A caesium deposition system for FIB-SIMS chemical imaging
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.11.2014
Date de fin 01.11.2015
 
Coûts totaux approuvés 104'346.00  CHF
Domaine 22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Production et technologie industrielles
 
Disciplines/domaines
100 % T171 Microélectronique
Dernière modification du projet
27.11.2014