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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
17140.1 PFNM-NM
Projekttitel
A caesium deposition system for FIB-SIMS chemical imaging
Projekttitel Englisch
A caesium deposition system for FIB-SIMS chemical imaging
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.11.2014
Endedatum 01.11.2015
 
Gesamtkosten bewilligt 104'346.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014