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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
10396.1;4 INST-NM
Projekttitel
Tests an einer neuen 'state-of-the-art' Elektronenstrahllithographieanlage zur Herstellung hochwertiger EUV-IL Masken
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 05.05.2009
Endedatum 26.05.2010
 
Gesamtkosten bewilligt 7'500.00  CHF
Bereich 19 Förderbereich GL
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Nicht aufteilbare / nicht zuteilbare Forschung
 
Fachbereiche
100 % T150 Werkstofftechnologie
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014