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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
10396.1;4 INST-NM
Projekttitel
Tests an einer neuen 'state-of-the-art' Elektronenstrahllithographieanlage zur Herstellung hochwertiger EUV-IL Masken

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Dr.
Christian David
PSI Paul Scherrer Institut
CH-5232 Villigen PSI
056 310 37 53
christian.david@psi.ch