En-tête de navigationNavigation principaleSuiviFiche

Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
10051.1;6 PFNM-NM
Titre du projet
Development of a cantilever based instrument for the highly precise measurement of surface stress in semiconductor production and thin film technology
Titre du projet anglais
Development of a cantilever based instrument for the highly precise measurement of surface stress in semiconductor production and thin film technology
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.03.2009
Date de fin 06.02.2013
 
Coûts totaux approuvés 500'000.00  CHF
Domaine 22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Recherches non ventilées / non attribuables
 
Disciplines/domaines
100 % T150 Technologie de matériaux
Dernière modification du projet
27.11.2014