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Unité de recherche
METAS
Numéro de projet
115.97.01
Titre du projet
Photomask Measuring System
Titre du projet anglais
Photomask Measuring System
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.01.1997
Date de fin 31.12.2001
 
Domaine 5111 Longueur, Nano- et Microtechnique
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Production et technologie industrielles
 
Disciplines/domaines
100 % P180 Métrologie, instrumentation physique
Dernière modification du projet
03.07.2002