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Forschungsstelle
METAS
Projektnummer
115.97.01
Projekttitel
Photonenmaskenmesssystem
Projekttitel Englisch
Photomask Measuring System

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Eidgenössisches Institut für
Metrologie METAS
Lindenweg 50
CH-3003 Bern-Wabern
+41 58 387 01 11 (Zentrale)
info@metas.ch
www.metas.ch/
Kontaktperson

 Dr.
Felix Meli
Eidg. Institut für Metrologie
Lindenweg 50
CH-3003 Bern-Wabern
+41 58 387 03 46 (direkt)
felix.meli@metas.ch

Projektleiter/Projektleiterin

 Dr.
Felix Meli
Eidg. Institut für Metrologie
Lindenweg 50
CH-3003 Bern-Wabern
+41 58 387 03 46 (direkt)
felix.meli@metas.ch