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Forschungsstelle
METAS
Projektnummer
115.97.01
Projekttitel
Photonenmaskenmesssystem
Projekttitel Englisch
Photomask Measuring System
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.01.1997
Endedatum 31.12.2001
 
Bereich 5111 Länge, Nano- und Mikrotechnik
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % P180 Metrologie, physikalisches Instrumentarium
Letzte Änderung Projekt
03.07.2002