Numerical Modelling for large aera plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) reactor development

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

6236.2;6 IWS-IW

Titre du projet

Numerical Modelling for large aera plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) reactor development

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.05.2003
Date de fin	07.04.2006

Coûts totaux approuvés	242'000.00 CHF
Domaine	5 CTI
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % T350 Génie chimique

Dernière modification du projet 27.11.2014