Online Messungen von Spezialgasen in der Mikroelektronik

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

6162.2;5 KTS-NM

Titre du projet

Online Messungen von Spezialgasen in der Mikroelektronik

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.12.2002
Date de fin	02.04.2013

Coûts totaux approuvés	80'000.00 CHF
Domaine	5 CTI
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % T170 Electronique

Dernière modification du projet 27.11.2014