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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
6162.2;5 KTS-NM
Projekttitel
Online Messungen von Spezialgasen in der Mikroelektronik

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Dr.
Lukas Emmenegger
EMPA
Überlandstrasse 129
CH-8600 Dübendorf
01 823 4699
lukas.emmenegger@empa.ch