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Research unit
INNOSUISSE
Project number
6162.2;5 KTS-NM
Project title
Online Messungen von Spezialgasen in der Mikroelektronik

Participants

Research organisation: Innosuisse
Swiss Innovation Agency
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Call Center)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Contact person

 Dr.
Lukas Emmenegger
EMPA
Überlandstrasse 129
CH-8600 Dübendorf
01 823 4699
lukas.emmenegger@empa.ch