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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
6162.2;5 KTS-NM
Projekttitel
Online Messungen von Spezialgasen in der Mikroelektronik
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.12.2002
Endedatum 02.04.2013
 
Gesamtkosten bewilligt 80'000.00  CHF
Bereich 5 KTI
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T170 Elektronik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014