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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
4785.2;3 TNS-NM
Projekttitel
High aspect ratio, deep sub-micrometer patterning of polymers with high energy ion beams
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.01.2001
Endedatum 28.01.2005
 
Gesamtkosten bewilligt 75'000.00  CHF
Bereich 17 TOP NANO
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % Noch nicht erfasst
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014