High-Speed Sputtering von ZnS-SiO2 Schichten mit minimalen thermischen und mechanischen Spannungen

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

4473.1;5 FHS

Titre du projet

High-Speed Sputtering von ZnS-SiO2 Schichten mit minimalen thermischen und mechanischen Spannungen

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.09.1999
Date de fin	25.03.2003

Coûts totaux approuvés	184'000.00 CHF
Domaine	14 HES
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % Pas encore déterminé

Dernière modification du projet 27.11.2014