High-Speed Sputtering von ZnS-SiO2 Schichten mit minimalen thermischen und mechanischen Spannungen

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

4473.1;5 FHS

Projekttitel

High-Speed Sputtering von ZnS-SiO2 Schichten mit minimalen thermischen und mechanischen Spannungen

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Kurzbeschreibung		-	-	-

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Kurzbeschreibung (Deutsch)	High-Speed Sputtering von ZnS-SiO2 Schichten mit minimalen thermischen und mechanischen Spannungen