Vielschichtige, hohe Planarstrukturen mit grossem Füllungsgrad und feinem Pitch

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

3710.1;2 MIE

Titre du projet

Vielschichtige, hohe Planarstrukturen mit grossem Füllungsgrad und feinem Pitch

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.10.1997
Date de fin	10.08.2004

Coûts totaux approuvés	580'000.00 CHF
Domaine	8 Micro-électronique
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % Pas encore déterminé

Dernière modification du projet 27.11.2014