M2S2 Laborverbund: Procédés électrochimiques et structuration de photorésists épais

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

2803.1;1 MIE

Titre du projet

M2S2 Laborverbund: Procédés électrochimiques et structuration de photorésists épais

Participants
Office fédéral/ Unité administrative	Innosuisse Agence suisse pour l'encouragement de l'innovation Einsteinstrasse 2 CH-3003 Bern +41 58 461 61 61 (Central) info@innosuisse.ch www.innosuisse.ch/

Personne à contacter

Dr
Félix RUDOLF
CSEM Centre Suisse d'Electronique
et de Microtechnique
Case postale 41
Maladière 71
CH-2007 NEUCHÂTEL
038 205 362

Participants