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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
2803.1;1 MIE
Projekttitel
M2S2 Laborverbund: Procédés électrochimiques et structuration de photorésists épais
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.10.1994
Endedatum 01.04.1996
 
Gesamtkosten bewilligt 258'000.00  CHF
Bereich 8 Mikroelektronik
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % Noch nicht erfasst
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014