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Research unit
INNOSUISSE
Project number
2099.1;2 MJK
Project title
Introduction d'un siliciure sur les grilles en silicium polycristallin de la technologie SACMOS 1.5 µm

Participants

Research organisation: Innosuisse
Swiss Innovation Agency
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Call Center)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Contact person

 Dr
Jean-Marc MORET
CSEM Centre Suisse d'Electronique
et de Microtechnique
Case postale 41
CH-2007 NEUCHÂTEL
038 205 348