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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
127.036 IP-ICT
Titre du projet
Model Predictive Control for Wafer Transport in Thin Film Deposition Tools using Combinatorial Optimization
Titre du projet anglais
Model Predictive Control for Wafer Transport in Thin Film Deposition Tools using Combinatorial Optimization

Participants
Office fédéral/ Unité administrative Innosuisse
Agence suisse pour l'encouragement
de l'innovation
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Central)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Personne à contacter

 Christoph Strauss
OST - Ostschweizer Fachhochschule

Direction sientifique
OST - Ostschweizer Fachhochschule

Partenaire commercial
Evatec AG
www.uid.admin.ch/Detail.aspx?uid_id=CHE111705163