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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
47997.1 IP-ENG
Titre du projet
Hycompact: A compact vertically stacked chamber for hybrid thin film processing
Titre du projet anglais
Hycompact: A compact vertically stacked chamber for hybrid thin film processing

Participants
Office fédéral/ Unité administrative Innosuisse
Agence suisse pour l'encouragement
de l'innovation
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Central)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Personne à contacter

 Doktor
Xavier Maeder
EMPA
Feuerwerkerstrasse 39
CH-3602 Thun
+41 58 765 63 30
xavier.maeder@empa.ch

Partenaire commercial

 Doktor
Carlos Guerra
Swiss Cluster AG
CHE-304.988.353
Feuerwerkerstrasse 39
CH-3602 Thun