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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
51003.1 IP-ENG
Titre du projet
High-precision resonant vacuum sensors: ultra-fast performance for conquering the semiconductor market
Titre du projet anglais
High-precision resonant vacuum sensors: ultra-fast performance for conquering the semiconductor market

Participants
Office fédéral/ Unité administrative Innosuisse
Agence suisse pour l'encouragement
de l'innovation
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Central)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Personne à contacter

 Professor Doktor
Christofer Hierold
ETH Zürich
CLA H9 / Tannenstrasse 3
CH-8092 Zürich
+41 44 632 31 43
hierold@micro.mavt.ethz.ch

Partenaire commercial

 Doktor
Stéphane Kühne
VAT Vakuumventile AG
CHE-101.861.353
Seelistrasse 1
CH-9469 Haag