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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
19193.1 PFNM-NM
Titre du projet
Feasibility Study of COSAMI, a Compact EUV Source for Actinic Mask Inspection
Titre du projet anglais
Feasibility Study of COSAMI, a Compact EUV Source for Actinic Mask Inspection

Participants
Office fédéral/ Unité administrative Innosuisse
Agence suisse pour l'encouragement
de l'innovation
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Central)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Personne à contacter

 Terence Garvey
PSI
Paul Scherrer Institut
CH-5232 Villigen
+41 56 310 46 37
terence.garvey@psi.ch