Control of Traveling EM Waves in Large Area (VHF) PECVD Reactors for the Production of Competitive Solar Panels

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

14823.1;9 PFNM-NM

Projekttitel

Control of Traveling EM Waves in Large Area (VHF) PECVD Reactors for the Production of Competitive Solar Panels

Projekttitel Englisch

Control of Traveling EM Waves in Large Area (VHF) PECVD Reactors for the Production of Competitive Solar Panels

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit	Innosuisse Schweizerische Agentur für Innovationsförderung Einsteinstrasse 2 CH-3003 Bern +41 58 461 61 61 (Zentrale) info@innosuisse.ch www.innosuisse.ch/

Kontaktperson

Dr.
Christoph Würsch
Interstaatliche Hochschule für Tech
Werdenbergstrasse 4
CH-9471 Buchs
081 755 34 52
christoph.wuersch@ntb.ch

Beteiligte