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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
14795.1;5 PFNM-NM
Projekttitel
Hermetically sealed double conical gold via glass substrate for the MEMS encapsulation and interposer market.
Projekttitel Englisch
Hermetically sealed double conical gold via glass substrate for the MEMS encapsulation and interposer market.

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Prof.
Philippe Renaud
EPFL
EPFL-STI-LMIS4, Station 17
CH-1015 Lausanne
021 693 59 50
philippe.renaud@epfl.ch