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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
13079.1 PFIW-IW
Projekttitel
Schneller Trennprozess für Siliziumwafer mittels Diamantdrahtsägen
Projekttitel Englisch
Fast cost optimized slicing process for silicon wafers by sawing with diamond coated wire

Beteiligte

Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

Doktor
Friedrich Kuster
ETH Zürich
Tannenstrasse 3
CH-8092 Zürich
+41 44 632 24 24
kuster@iwf.mavt.ethz.ch


Wirtschaftspartner

Alexander Beck
MB WAFERTEC
Allmendstrasse 86
CH-3600 Thun
+41 33 439 07 33
a.beck@meyerburger.ch