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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
13254.1;6 PFFLM-NM
Titre du projet
Advanced Mask Aligner Lithography (AMALITH)
Titre du projet anglais
Advanced Mask Aligner Lithography (AMALITH)

Participants
Office fédéral/ Unité administrative Innosuisse
Agence suisse pour l'encouragement
de l'innovation
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Central)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Personne à contacter

 Dr.
Ross Stanley
CSEM Centre Suisse d'Electronique
et de Microtechnique
Rue Jaquet-Droz 1
CH-2007 Neuchâtel
032 720 50 62
ross.stanley@csem.ch