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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
13254.1;6 PFFLM-NM
Projekttitel
Advanced Mask Aligner Lithography (AMALITH)
Projekttitel Englisch
Advanced Mask Aligner Lithography (AMALITH)
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.01.2012
Endedatum 12.03.2014
 
Gesamtkosten bewilligt 551'402.00  CHF
Bereich 5 KTI
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Nicht aufteilbare / nicht zuteilbare Forschung
 
Fachbereiche
100 % Noch nicht erfasst

Letzte Änderung Projekt
27.11.2014