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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
7809.2;6 NMPP-NM
Titre du projet
High speed scanning interferometer for 5nm precision gap control on multilayered substrates
Titre du projet anglais
High speed scanning interferometer for 5nm precision gap control on multilayered substrates

Participants
Office fédéral/ Unité administrative Innosuisse
Agence suisse pour l'encouragement
de l'innovation
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Central)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Personne à contacter

 Dr.
Jürg Peter Keller
Fachhochschule Nordwestschweiz
Hochschule für Technik
Steinackerstrasse 5
CH-5210 Windisch
056 462 48 40
juerg.keller1@fhnw.ch