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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
7809.2;6 NMPP-NM
Projekttitel
High speed scanning interferometer for 5nm precision gap control on multilayered substrates
Projekttitel Englisch
High speed scanning interferometer for 5nm precision gap control on multilayered substrates
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.05.2006
Endedatum 05.05.2010
 
Gesamtkosten bewilligt 232'540.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Nicht aufteilbare / nicht zuteilbare Forschung
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014