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Research unit
INNOSUISSE
Project number
7809.2;6 NMPP-NM
Project title
High speed scanning interferometer for 5nm precision gap control on multilayered substrates

Participants

Research organisation: Innosuisse
Swiss Innovation Agency
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Call Center)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Contact person

 Dr.
Jürg Peter Keller
Fachhochschule Nordwestschweiz
Hochschule für Technik
Steinackerstrasse 5
CH-5210 Windisch
056 462 48 40
juerg.keller1@fhnw.ch