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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
6499.1;8 TNS-NM
Titre du projet
Reliability and degradation physics of ultra-thin dielectries 'Nanoxide'
Titre du projet anglais
Reliability and degradation physics of ultra-thin dielectries 'Nanoxide'

Participants
Office fédéral/ Unité administrative Innosuisse
Agence suisse pour l'encouragement
de l'innovation
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Central)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Personne à contacter

 Dr.
Urs Sennhauser
EMPA
Überlandstrasse 129
CH-8600 Dübendorf
058 765 41 73
urs.sennhauser@empa.ch