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Research unit
INNOSUISSE
Project number
6499.1;8 TNS-NM
Project title
Reliability and degradation physics of ultra-thin dielectries 'Nanoxide'

Participants

Research organisation: Innosuisse
Swiss Innovation Agency
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Call Center)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Contact person

 Dr.
Urs Sennhauser
EMPA
Überlandstrasse 129
CH-8600 Dübendorf
058 765 41 73
urs.sennhauser@empa.ch