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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
6162.2;5 KTS-NM
Titre du projet
Online Messungen von Spezialgasen in der Mikroelektronik

Participants
Office fédéral/ Unité administrative Innosuisse
Agence suisse pour l'encouragement
de l'innovation
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Central)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Personne à contacter

 Dr.
Lukas Emmenegger
EMPA
Überlandstrasse 129
CH-8600 Dübendorf
01 823 4699
lukas.emmenegger@empa.ch