Tool for nanolithography

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

6028.2;5 TNS-NM

Titre du projet

Tool for nanolithography

Participants
Office fédéral/ Unité administrative	Innosuisse Agence suisse pour l'encouragement de l'innovation Einsteinstrasse 2 CH-3003 Bern +41 58 461 61 61 (Central) info@innosuisse.ch www.innosuisse.ch/

Personne à contacter

Andrzej Kulik
EPFL
IPMC - station 3
CH-1015 Lausanne
021 693 33 59
andrzej.kulik@epfl.ch

Participants