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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
6028.2;5 TNS-NM
Projekttitel
Tool for nanolithography
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.02.2002
Endedatum 24.04.2006
 
Gesamtkosten bewilligt 110'000.00  CHF
Bereich 17 TOP NANO
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T150 Werkstofftechnologie
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014