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Research unit
INNOSUISSE
Project number
4299.2;2 KTS
Project title
Entwicklung von Prozessen zur Deposition von spannungsarmen Niedertemperatur-Isolationsschichten für microsystemtechnische und mikroelektronische Anwendungen

Participants

Research organisation: Innosuisse
Swiss Innovation Agency
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Call Center)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Contact person

 Prof. Dr.
Alex Dommann
Interstaatliche Hochschule für Tech
Werdenbergstrasse 4
CH-9470 Buchs
081 755 3343
dommann@ntb.ch