ServicenavigationHauptnavigationTrailKarteikarten

Research unit
INNOSUISSE
Project number
3431.1;3 MIE
Project title
Technology for thin, large silicon diaphragms

Participants

Research organisation: Innosuisse
Swiss Innovation Agency
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Call Center)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Contact person

 Dr.
Heinz LUGINBUEHL
CSEM Centre Suisse d'Electronique
et de Microtechnique
Case postale 41
rue Jaquet-Droz 1
CH-2007 NEUCHÂTEL
038 205 350